一 等离子设备广泛应用于：

1．等离子表面活化/清洗；   2.等离子处理后粘合;   

3. 等离子蚀刻/活化;         4. 等离子去胶;   

5. 等离子涂镀(亲水,疏水);   6. 增强邦定性；  

7.等离子涂覆；      8.等离子灰化和表面改性等场合。

   等离子清洗机：是一种用于表面处理的低温等离子表面改性设备。广泛应用于等离子清洗、刻蚀、镀、涂覆、灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，是多种材料能够进行涂覆、镀等操作。等离子清洗是一种轻微的刻蚀，等离子体的表面清洗能很快去除金属表面的油脂、油污等有机物和氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊、PVD、VCD和涂覆前，用等离子处理能得到完全的洁净和无氧化层的表面。

二、主要技术参数如下：

1、整机外形尺寸（约）：L1000×W750×H1600(mm)外观喷塑处理；

2、反应腔尺寸：520×520×H600(mm)，约150L；

3、射频电源：13.56MHz，600W;

4、设备功率：约1.5KW；

5、气体流量控制：2路质量流量控制器（0~300SCCM）;

6、工作气体：氧、氩气，另提供一路氮气用于冷却样品（高纯，用户自备）；

7、压缩空气：接口压力大于0.5MPa（用户自备）;

8、真空抽气及测量系统：配备一台8L机械泵，抽气管道采用不锈钢真空波纹管，真空测量采用德国莱宝TTR91N真空规管;

9、控制方式：采用10寸触摸屏+PLC组成的人机界面控制方式，操作方式包括手动模式或自动模式，在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储100组不同配方。使用时只需将相应配方号调出即可。

三、反应腔：

1、反应腔采用优质奥氏体不锈钢焊接而成，腔体后部安装2个铜电极座，腔体左右两侧安装铝板侧托，用于支撑电极板（托盘），电极板采用抽插方式，示意图如下：

腔体内部示意图

2、清洗方式：样品放置于电极板上，插入左边或者右边电极座，插入左右电极决定了电极板为阳极或者阴极，调换方便；

   本设备可一次最多放置8组电极板，电极板间距可调。

四、详细配置:

注：可根据客户要求定制