一 等离子设备广泛应用于:
1.等离子表面活化/清洗; 2.等离子处理后粘合;
3. 等离子蚀刻/活化; 4. 等离子去胶;
5. 等离子涂镀(亲水,疏水); 6. 增强邦定性;
7.等离子涂覆; 8.等离子灰化和表面改性等场合。
等离子清洗机:是一种用于表面处理的低温等离子表面改性设备。广泛应用于等离子清洗、刻蚀、镀、涂覆、灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料的润湿能力,是多种材料能够进行涂覆、镀等操作。等离子清洗是一种轻微的刻蚀,等离子体的表面清洗能很快去除金属表面的油脂、油污等有机物和氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊、PVD、VCD和涂覆前,用等离子处理能得到完全的洁净和无氧化层的表面。
到完全的洁净和无氧化层的表面。
二、主要技术参数如下:
1、整机外形尺寸(约):L600×W600×H500(mm)外观喷塑处理;
2、反应腔尺寸:400×400×H300(mm),约50L;
3、射频电源:13.56MHz,300W;
4、设备功率:约1KW;
5、气体流量控制:2路质量流量控制器(0~300SCCM);
6、工作气体:氧、氩气,另提供一路氮气用于冷却样品(高纯,用户自备);
7、压缩空气:接口压力大于0.5MPa(用户自备);
8、真空抽气及测量系统:配备一台8L机械泵,抽气管道采用不锈钢真空波纹管,真空测量采用德国莱宝TTR91N真空规管;
9、控制方式:采用7寸触摸屏+PLC组成的人机界面控制方式,操作方式包括手动模式或自动模式,在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理,可同时存储100组不同配方。使用时只需将相应配方号调出即可。
三、反应腔:
1、反应腔采用优质奥氏体不锈钢焊接而成,腔体后部安装2个铜电极座,腔体左右两侧安装铝板侧托,用于支撑电极板(托盘),电极板采用抽插方式,效果图如下:
2、清洗方式:双层电极,样品直接放置在下电极板上,可拓展至三层结构;
本设备可一次最多放置3组电极板,电极板间距可调。
四、详细配置:
型号
数量
品牌
备注
机架
一套
喷塑
协商订做
腔体
一套
304不锈钢
400*400*300mm
真空泵
一组
鲍斯股份
4L/S
角阀
一套
川北
超高真空40KF气动
流量控制器
二套
日本HORIBA
300SCCM
真空显示规管
一台
TTR91N
德国莱宝
电源匹配器
一套
自动匹配
GMPOWER
射频电源
一套
(13.56MHz)
300W GMPOWER
PLC
一套
台达
包括PLC,含A/D
D/A 模组
电气系统
一套
施耐德
接触器,继电器,屏蔽器等
触摸屏
一套
维控
10.4寸
射频接头
一套
SL-16
Kurt J. Lesker
注:可根据客户要求定制