等离子清洗机由真空腔体及等离子电源、抽真空系统、充气系统、控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.02-0.03mbar 的真空度，再在等离子电源作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态）。等离子电源提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

技术参数:
罐体尺寸：Φ150×220深；
极限真空度： 6*10-2Pa(配套双级旋片真空泵)；
射频电源，功率0～100 W，数显；
数字式功率表，方便判断工作中的功率大小；
充气系统包括2路浮子流量计，含进气针阀以控制清洗气体的进气流量，方便多种种不同气体按比例混合；

真空系统 配BSV10真空泵一台，抽气速度≥2升/秒 ，极限真空6x10-2，工作电压220伏。真空专用电磁角阀、充气阀、不锈钢真空波纹管、高精度数字式真空计、规管。